Mesin Litografi, Penyelaras Masker, Mesin Foto-Etsa
Pengenalan produk
Sumber cahaya paparan menggunakan LED UV impor dan modul pembentuk sumber cahaya, dengan panas yang kecil dan stabilitas sumber cahaya yang baik.
Struktur pencahayaan terbalik memiliki efek pembuangan panas yang baik dan efek sumber cahaya yang dekat, serta penggantian dan perawatan lampu merkuri sederhana dan nyaman. Dilengkapi dengan mikroskop binokular bidang ganda pembesaran tinggi dan LCD layar lebar 21 inci, penyelarasan visual dapat dilakukan melalui
lensa okuler atau CCD + layar, dengan akurasi penyelarasan tinggi, proses intuitif, dan pengoperasian yang mudah.
Fitur
Dengan fungsi pemrosesan fragmen
Penyetelan tekanan kontak memastikan pengulangan melalui sensor.
Jarak penyelarasan dan jarak paparan dapat diatur secara digital.
Menggunakan komputer tertanam + pengoperasian layar sentuh, sederhana dan nyaman, indah dan elegan.
Plat tarik naik turun, sederhana dan praktis.
Mendukung paparan kontak vakum, paparan kontak keras, paparan kontak tekanan, dan paparan jarak dekat.
Dengan fungsi antarmuka nano imprint.
Eksposur satu lapisan dengan satu tombol, tingkat otomatisasi tinggi.
Mesin ini memiliki keandalan yang baik dan demonstrasi yang mudah, sangat cocok untuk pengajaran, penelitian ilmiah, dan pabrik di perguruan tinggi dan universitas.
Detail selengkapnya
Spesifikasi
1. Area paparan: 110mm × 110mm;
2. ★ Panjang gelombang paparan: 365nm;
3. Resolusi: ≤ 1m;
4. Akurasi penyelarasan: 0,8m;
5. Rentang pergerakan meja pemindaian sistem penyelarasan minimal harus memenuhi: Y: 10mm;
6. Tabung lampu kiri dan kanan dari sistem penyelarasan dapat bergerak secara terpisah dalam arah X, Y, dan Z, arah X: ± 5mm, arah Y: ± 5mm dan arah Z: ± 5mm;
7. Ukuran masker: 2,5 inci, 3 inci, 4 inci, 5 inci;
8. Ukuran sampel: fragmen, 2", 3", 4";
9. ★ Cocok untuk ketebalan sampel: 0,5-6mm, dan dapat menopang potongan sampel maksimal 20mm (sesuai pesanan);
10. Mode pencahayaan: pengaturan waktu (mode hitung mundur);
11. Ketidakseragaman pencahayaan: ＜ 2,5%;
12. Mikroskop penyelarasan CCD bidang ganda: lensa zoom (1-5 kali) + lensa objektif mikroskop;
13. Pergerakan masker relatif terhadap sampel minimal harus memenuhi: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Kepadatan energi paparan: > 30MW / cm2,
15. ★ Posisi penyelarasan dan posisi pencahayaan bekerja di dua stasiun, dan motor servo kedua stasiun beralih secara otomatis;
16. Penyetelan tekanan kontak memastikan pengulangan melalui sensor;
17. ★ Jarak penyelarasan dan jarak paparan dapat diatur secara digital;
18. ★ Dilengkapi antarmuka nano imprint dan antarmuka proximity;
19. ★ Pengoperasian layar sentuh;
20. Dimensi keseluruhan: Sekitar 1400mm (panjang) 900mm (lebar) 1500mm (tinggi).
