Mesin Litografi Mesin Mask Aligner Mesin Esching
PENDAHULUAN PRODUK
Sumber cahaya paparan mengadopsi LED UV yang diimpor dan modul pembentukan sumber cahaya, dengan panas kecil dan stabilitas sumber cahaya yang baik.
Struktur pencahayaan terbalik memiliki efek disipasi panas yang baik dan efek dekat sumber cahaya, dan penggantian dan pemeliharaan lampu merkuri sederhana dan nyaman. Dilengkapi dengan pembesaran tinggi mikroskop medan teropong dan LCD layar lebar 21 inci, dapat diselaraskan secara visual
Lapisan Lensa Huruf atau CCD +, dengan akurasi penyelarasan tinggi, proses intuitif dan operasi yang nyaman.
Fitur
Dengan fungsi pemrosesan fragmen
Leveling tekanan kontak memastikan pengulangan melalui sensor
Kesenjangan penyelarasan dan kesenjangan paparan dapat diatur secara digital
Menggunakan Operasi Komputer + Layar Sentuh Tertanam, sederhana dan nyaman, indah dan murah hati
Tarik jenis piring ke atas dan ke bawah, sederhana dan nyaman
Dukung paparan kontak vakum, paparan kontak keras, paparan kontak tekanan dan paparan kedekatan
Dengan fungsi antarmuka jejak nano
Paparan lapisan tunggal dengan satu kunci, tingkat otomatisasi tinggi
Mesin ini memiliki keandalan yang baik dan demonstrasi yang nyaman, terutama cocok untuk mengajar, penelitian ilmiah dan pabrik di perguruan tinggi dan universitas
Lebih detail
Spesifikasi
1. Area Eksposur: 110mm × 110mm ；
2. ★ Panjang Gelombang Paparan: 365nm;
3. Resolusi: ≤ 1m;
4. Akurasi Penyelarasan: 0,8m;
5. Rentang gerak tabel pemindaian sistem penyelarasan setidaknya harus memenuhi: y: 10mm;
6. Tabung lampu kiri dan kanan dari sistem penyelarasan dapat bergerak secara terpisah dalam arah x, y dan z, arah x: ± 5mm, arah y: ± 5mm dan z arah: ± 5mm;
7. Ukuran Topeng: 2,5 inci, 3 inci, 4 inci, 5 inci;
8. Ukuran sampel: fragmen, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Cocok untuk ketebalan sampel: 0,5-6mm, dan dapat mendukung potongan sampel 20mm paling banyak (disesuaikan);
10. Mode Eksposur: Waktu (Mode Countdown);
11. Non Seragam Pencahayaan: ＜ 2,5%;
12. Dual Field CCD Penyelarasan Mikroskop: Lensa Zoom (1-5 kali) + Lensa Objektif Mikroskop;
13. Gerakan gerakan topeng relatif terhadap sampel setidaknya harus memenuhi: x: 5mm; Y: 5mm; : 6º ；
14. ★ Kepadatan energi paparan:> 30mw / cm2,
15. ★ Posisi penyelarasan dan posisi paparan bekerja di dua stasiun, dan dua sakelar motor servo stasiun secara otomatis;
16. Leveling Tekanan kontak memastikan pengulangan melalui sensor;
17. ★ Kesenjangan penyelarasan dan kesenjangan paparan dapat diatur secara digital;
18. ★ Ini memiliki antarmuka nano jejak dan antarmuka kedekatan;
19. ★ Operasi layar sentuh;
20. Dimensi Keseluruhan: Sekitar 1400mm (Panjang) 900mm (Lebar) 1500mm (Tinggi).
